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MX4R 、MX6R 正置金相显微镜
- 产品简介
- 技术参数
- 可选配件
MX4R/MX6R 正置金相显微镜主要特点：
◇ 灵活的系统组合、卓越的成像性能、稳定的系统结构、MX系列专业应用于工业检测及金相分析领域。
◇ HM4R、MX6R可以实现X、Y方向105mm-158mm的移动范围。
◇ 全新设计的长工作距离专业金相物镜，高倍物镜采用半复消色差技术。
◇ 各种观察方法下都能得到清晰锐利与高对比度的显微图像。
◇ 附件齐全，配置完善，可灵活进行系统组合与功能拓展。
◇ 人机器工程学设计、坚实可靠的系统结构。
１、宽视场铰链式三目观察筒：
◇ MXETH25R型正像铰链式三目观察筒，所成像的方位与物体实际方向一致，物体移动的方向跟像面移动的方向相同，便于观察与操作，适用于6英寸移动平台配合使用。
◇ MX4RTH30R型铰链式三目观察筒，适用于4英寸平台配合使用。
◇ 两种类型的观察筒可以在MX机型内通用。
2、大行程移动平台设计：
◇ MX系列机型采用4“/6"平台设计，可适用于相应尺寸的晶圆或FPD检测，也可以用于小尺寸样品的陈列检测。
◇ MX4/MX4RT：4英寸平台，移动范围105mm*105mm
◇ MX6R/MX6RT: 6英寸平台，反射照明移动范围：158mm*158mm；透射照明移动范围100mm*100mm; 带离合器手柄，可用于全行程范围内快速移动。
◇ 通过使用平台适配接口，所有平台可在MX系列机型之间通用。
3、超长工作距离金相物镜：
◇ 全新设计的超长工作距离物镜，采用半复消色差技术，并使用多层宽带镀膜技术，使整个视场内的成像清晰锐利，色彩自然，明亮舒适。
超长的工作距离设计，50X、的有效工作距离达到7.8mm,100X物镜也达到了2.1mm，大幅拓展了MX机型的应用领域，5X、10X、20X物镜的设计，通过精选材料及优化设计，使DIC微分干涉观察的性能非常出色。
◇ 同步设计了全套明暗场两用物镜，适用于MX6R机型，暗场照明亮度比传统暗场物镜提高2X以上。
4、高性能物镜转换器：
◇ MX机型的转换器采用精密轴承设计，转动手感轻巧舒适，重复定位精确，物镜转换后的同心度也得到较好的控制，根据MX系列机型配置及功能的不同，可以选择不同型号的转换器：
P103C5型： 5孔明场转换器，带DIC棱镜插槽，用于MX4R/MX4RT机型；
P103C5BD型：5孔明暗场转换器，带DIC棱镜插槽，用于MX6R/MX6RT机型。
5、不同的照明器供选择：
◆反射照明器：
◇ 明场反射照明器：
大功率5W白色LED光源，带斜照机构，适用于MX4R/MX4RT机型。
12V/100W卤素灯照明，适用于MX4R/T
◇ 明暗场反射照明器：12V/100W卤素灯照明，并带有光强预设功能，可快速切换到预设亮度。带明暗场切换机构、适用于MX6R/T
◆透射照明：
◇ 透射照明：MX系列均可使用透反两用机型。采用5W大功率LED，配以NA0.5 聚光镜，可以透照明状态下观察LCD彩色液晶显示屏，器件框架边缘等。
◇ 透射照明与反射照明为独立控制，即可同时亮也可以单独亮。
◆斜照明：
◇ 使用斜照明，可以使物体表面不同材质部分呈现立体图案，增加观察的对比度与视觉效果。斜照明功能只限于MX4R/MX4RT机型。
6、集成了明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能：
◆ 明场观察（反射）：
采用远心柯拉反射照明系统，配以全新设计的无限远平场消色差长工作距离金相物镜，从低倍到高倍，都能得到清晰、平坦、明亮的高画质显微图像。
◆ 明场观察（透射）：
5W大功率LED，配以NA0.5聚光镜，可以在透射照明下观察LCD彩色液晶显示屏、器件框架边缘等。
◆ 暗场观察：
将暗场照明拉杆拉到指定位置，即可使用暗场功能，可以观察物体表面的各种划痕、杂质点及其他微细缺陷，暗场功能只限于MX6R/MX6RT机型。
◆ 简易偏光：
将起偏镜及健脾安静插板插入照明器的指定位置，即可进行简易偏光观察。检偏镜分为固定式和360°旋转两种。
◆ DIC微分干涉观察：
在正交偏光的基础上，插入DIC棱镜，即可进行DIC微分干涉相衬观察。使用DIC技术可以使物镜表面微小的高低差产生明显的浮雕效果，极大的提高图像的对比度。
5X、10X、20X专为DIC设计，使得整个视场的干涉色一致，微分干涉效果非常出色，高倍物镜的DIC效果也很好。
7、多种干涉滤色片可选：
使用12V/100W卤素灯照明时，可以选择LBD日光型滤色片，能将光线过滤成自然日光的颜色，图像北京柔和亮白。
根据具体工业检测的需要，可以选择其他颜色的滤光片来对光线光谱进行调节，以获得最好的图像效果。
MX4R/T 、MX6R/T 大平台正置金相显微镜物镜参数：
| 型号 | 倍率 | 数值孔径 | 工作距离 | 盖玻片厚度 | 齐焦距离 | 共轭距 |
|---|---|---|---|---|---|---|
LMPlan 无限远长工作距离金相物镜 |
5X | 0.15 | 10.8 | 0 | 45 | ∞ |
| 10X | 0.30 | 10.0 | ||||
| 20X | 0.45 | 4.0 | ||||
| 50X | 0.55 | 7.8 | ||||
| 100X | 0.80 | 2.1 | ||||
| 型号 | 倍率 | 数值孔径 | 工作距离 | 盖玻片厚度 | 齐焦距离 | 共轭距 |
LMPL -BD 无限远长工作距离明暗物镜 |
5X | 0.15 | 11.0 | 0 | 45 | ∞ |
| 10X | 0.30 | 9.5 | ||||
| 20X | 0.45 | 3.4 | ||||
| 50X | 0.55 | 7.5 | ||||
| 100X | 0.80 | 2.1 | ||||
| MX4R/MX4RT 标准配置表 | ||
|---|---|---|
| MX4R | MX4X4RT | |
| 可选择的观察方法 | 明场、斜照明、偏振光、DIC | 明场、斜照明、偏振光、DIC、透射光照明 |
| 光学系统 | 无限远色差矫正光学系统 | |
| 目镜 | PL 10X/22mm平场高眼点目镜 | |
| 物镜 | LMPL无限远长工作距离金相物镜 | |
| 观察筒 | 30°铰链式三目、双目，分光比：100:0或50:50 | |
| 转换器 | 5孔内倾式转换器，带DIC插槽 | |
| 载物台 | 4"双层机械载物台，行程105*105mm，带金属平板平台，右手位X\Y移动手轮，配平台接口 | 4"双层机械载物台，行程105*105mm，带玻璃平板平台，右手位X\Y移动手轮，配平台接口 |
| 显微镜镜体 | 粗微调同轴，粗调行程33mm，微调精度0.001mm，带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器，单路电源输出 | |
| 反射照明器系统 | 带可变视场光阑与孔径光阑，均可调中心，带滤色片插槽与偏光装置插槽，带斜照明拉杆 单颗大功率5W LED,白色，光强连续可调。 |
|
| 透射照明系统 | 无 | 单颗大功率5W LED 白色，光强连续可调，NA0.5聚光镜，带可变孔径光阑。 |
| MX6R/MX6RT 标准配置表 | ||
| MX6R | MX6RT | |
| 可选择的观察方法 | 明场、暗场、偏振光、DIC | 明场、暗场、偏振光、DIC、透射光照明 |
| 光学系统 | 无限远色差矫正光学系统 | |
| 目镜 | PL 10X/22mm平场高眼点目镜 | |
| 物镜 | LMPL-BD无限远长工作距离明暗场金相物镜 | |
| 观察筒 | 正像观察筒，25°铰链式三目、双目，分光比：100:0或0:100 | |
| 转换器 | 5孔内倾式转换器，带DIC插槽 | |
| 载物台 | 6"三层机械载物台，行程158mm*158mm,玻璃工作台，右手位X\Y移动手轮，配平台接口 | 6"三层机械载物台，反射行程158mm*158mm，透射行程100mm*100mm，玻璃平板平台，右手位X\Y移动手轮，配平台接口 |
| 显微镜镜体 | 粗微调同轴，粗调行程33mm，微调精度0.001mm，带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器，单路电源输出 | |
| 反射照明器系统 | 带可变视场光阑与孔径光阑，均可调中心，带滤色片插槽与偏光装置插槽，带明暗场切换机构，预置中心，采用数字调光，具有光强设定与复位功能。 |
带可变视场光，均可调中心，带滤色片插槽与偏光装置插槽，带明暗场切换机构，预置中心，光强连续可调。 |
| 透射照明系统 | 无 | 单颗大功率5W LED 白色，光强连续可调，NA0.5聚光镜，带可变孔径光阑。 |